微导纳米申请进气结构专利, 提升薄膜沉积的均匀性

2026-04-30 02:43:54 61

国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“进气结构、反应装置和半导体薄膜沉积设备”的专利，公开号CN121826656A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种进气结构、反应装置和半导体薄膜沉积设备，进气结构包括喷淋板、温度调节部件和控制部件，温度调节部件与喷淋板的喷淋区域相对设置，温度调节部件包括加热层、隔离层和反馈层；加热层设置于隔离层靠近喷淋板的一侧，反馈层设置于隔离层远离喷淋板的一侧，加热层包括多个阵列排布的加热单元，反馈层包括多个阵列排布的测温单元，多个测温单元与多个加热单元对应设置；加热层和反馈层均与控制部件电连接。本申请中每个测温单元可准确检测对应加热单元的加热温度，使控制部件能更精准地控制加热单元的加热功率，从而提升喷淋板温度分布的均匀性，使薄膜在基片表面的不同区域沉积速率一致，提升薄膜沉积的均匀性。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息88条，专利信息629条，此外企业还拥有行政许可69个。

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